特許

J-GLOBAL ID：200903025707347781

非接触表面粗さ評価方法および非接触表面粗さ評価装置

発明者： 川西 哲也
出願人/特許権者： 郵政省通信総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209653
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004351
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 試料である金属の物性に依存することなく、屈折率が虚数となる種々の金属に対する表面粗さの評価方法として汎用性が有り、確実性を持った表面粗さの評価を非接触で迅速に行うことができる表面粗さ評価方法を提供する。【解決手段】 レーザ光源11から高屈折率体12へ入射角θOmでS偏波成分とP偏波成分を含む電磁波を高屈折率体12の平坦面から空気を介して金属である試料13の表面へ照射し、該表面で散乱したエバネッセント波もしくは通常の伝搬波が再び高屈折率体12へ入射した散乱光を、偏光ビームスプリッタ14により散乱ブリュースタ角ΘBmで受け、該偏光ビームスプリッタ14により分離されたS偏波成分を第1光検出器15で、P偏波成分を第2光検出器16で各々取得し、これら第1,第2光検出器15,16より取得したS偏波成分とP偏波成分の比率からコンピュータ17が試料13の評価面の粗さを判定する。

請求項（抜粋）：

表面粗さ評価の試料である金属の評価面と平行に表面粗さが小さい面を臨ませた電磁波入射側媒質を電磁波透過側媒質を隔てて非接触に配設し、電磁波入射側媒質から入射角θOmでS偏波およびP偏波を含む電磁波を電磁波入射側媒質から照射して電磁波透過側媒質から金属表面へ到達したエバネッセント波または通常の伝搬波が、電磁波透過側媒質に対する相対屈折率nが近似的にn=iαで表される金属の評価面で散乱して電磁波透過側媒質から電磁波入射側媒質へ入射した際に、電磁波の入射角θOmと電磁波透過側媒質に対する電磁波入射側媒質の相対屈折率ngに応じて、電磁波入射側媒質における散乱ブリュースタ角ΘBmが、【数1】を満たす条件下で、散乱ブリュースタ角ΘBmにおいて取得される散乱波のS偏波成分に対するP偏波成分の比に基づいて、評価面の粗さを評価することを特徴とする非接触表面粗さ評価方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 21/30 102

FI (2件)：

G01B 11/30 102 Z ,  G01B 21/30 102

Fターム (15件)：

2F065AA50 ,  2F065BB24 ,  2F065BB26 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ26 ,  2F069AA57 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG63