特許
J-GLOBAL ID：200903025707370783
揮発性四酸化ルテニウムのサンプリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-226366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072833
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 サンプリングポイントから離れた距離においてRuO4 を吸収液で吸収させても、その途中の配管の管壁にRuO4 が付着してガス中のRuO4 の濃度変化を来たすことのない揮発性RuO4 のサンプリング方法を提供する。【解決手段】 本方法はサンプリング装置7をオゾン発生器1とオゾン発生器1からサンプリングポイント8までのオゾン供給配管2またRuO4 の吸収液(0.4N-HCI+0.15%H2 O2 )を入れたRuO4 吸収瓶3、ガス吸引ポンプ4、吸引ガス量を定量するためのガスメータ5、排出ガス中のオゾンを分解するオゾン分解塔6で構成する。
請求項（抜粋）：
揮発性RuO4 を含有するガスのサンプリングポイントに、オゾンを100ppm以上添加して該RuO4 を安定化させた後、該RuO4 含有ガスをRuO4 吸収液に吸収させてガス中のRuO4 量を測定し、該吸収液に吸収されない排ガス中のオゾンを分解除去して大気に放出することを特徴とする揮発性RuO4 のサンプリング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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