特許

J-GLOBAL ID：200903025712410599

圧電部品の周波数特性調整方法

発明者： 土門 孝彰 ,  佐藤 裕
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 若田 勝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331750
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173460
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】高分子樹脂の塗布による製品への電気的影響がなくなり、また、電極を損傷することもなく、一度に多量の処理が可能な圧電部品の周波数特性調整方法を提供する。【解決手段】圧電基板の板面に銅電極を形成した後、該圧電基板を、所定濃度の過硫安溶液中に所定時間浸漬して前記銅電極の成膜をエッチング処理する。これによって前記銅電極の膜厚を薄くする方向に調整することより、周波数特性を調整する。

請求項（抜粋）：

圧電基板の板面に銅電極を形成した後、該圧電基板を、所定濃度の過硫安溶液中に所定時間浸漬して前記銅電極の成膜をエッチング処理し、これによって前記銅電極の膜厚を薄くする方向に調整することより、周波数特性を調整することを特徴とする圧電部品の周波数特性調整方法。