特許
J-GLOBAL ID：200903025715473206
選択励起蛍光X線分析装置および選択励起蛍光X線分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289434
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132764
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】全反射X線を用いスペクトル干渉を避けた選択励起蛍光X線分析装置と方法の提供。【解決手段】(1)入射X線は、平行X線束が複数の全反射ミラーにより反射された異なったしきい波長未満がカットされた全反射X線であり、全反射X線の一つは測定対象元素の全てを励起し、他は測定対象元素の1または2以上を励起するように全反射ミラーの反射角が配置されている選択励起蛍光X線分析装置およびその方法。(2)入射X線はしきい波長未満がカットされた全反射X線であり、ある配置の全反射X線は測定対象元素の全てを励起でき、さらに、別の配置では測定対象元素の1または2以上をも励起し得る全反射X線となるように、全反射ミラーの回転と移動が可能な選択励起蛍光X線分析装置およびその方法。
請求項（抜粋）：
平行X線束を全反射させる複数の全反射ミラーと全反射ミラーによって反射された全反射X線を照射する試料を戴置する試料台と試料から発生する蛍光X線を測定する検出器とを備えた選択励起蛍光X線分析装置であって、前記全反射X線のうちの一つは、全ての測定対象元素を励起するのに必要な波長をしきい波長としてそのしきい波長以上の波長のみを含み、他の全反射X線は、試料中の複数の測定対象元素のうちの一または二以上を励起するのに必要な波長をしきい波長としてそのしきい波長以上の波長のみを含むように、各全反射ミラーの角度が前記平行X線束の進行方向に対して設定されていることを特徴とする選択励起蛍光X線分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/223
, G21K 1/06 G
