特許

J-GLOBAL ID：200903025716887080

基板搬送用トレイ及びその製造方法

発明者： 原田 保 ,  塩貝 達也 ,  津戸 宏之 ,  武井 義文 ,  青木 一郎
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247776
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060054
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【課題】 大型のガラス基板であっても、基板の撓みが小さく、基板の裏面に傷がつかない基板搬送用トレイを提供し、その製造方法をも提供すること。【解決手段】 基板搬送用トレイであって、そのトレイが、表面に樹脂層を有するセラミックスを40体積%以上含むセラミックスと樹脂との複合材料からなることとした基板搬送用トレイ。40体積%以上の充填率を有するセラミックス多孔体を基板搬送用トレイの形状に加工し、それを液状樹脂に浸し真空処理することでセラミックス多孔体に液状樹脂を浸透させ、同時に基板と接する面に樹脂層を厚盛りで残し、その浸透させた樹脂と残した樹脂層とを硬化させた後、その樹脂層の表面を研削加工することで基板搬送用トレイを作製することとした基板搬送用トレイの製造方法。

請求項（抜粋）：

基板搬送用トレイであって、そのトレイが、表面に樹脂層を有するセラミックスを40体積%以上含むセラミックスと樹脂との複合材料からなることを特徴とする基板搬送用トレイ。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 U ,  B65D 85/38 R

Fターム (14件)：

3E096AA01 ,  3E096BA15 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096CC02 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA10X ,  3E096FA10 ,  3E096GA03 ,  5F031CA05 ,  5F031DA05 ,  5F031EA02