特許

J-GLOBAL ID：200903025717874895

データ処理方法、データ処理装置、およびデータ処理装置のデータ処理プログラムを記憶した記憶媒体

発明者： 福冨 康志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241624
公開番号（公開出願番号）：特開2001-067205
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 データ列を構成するデータ中の情報の欠落を最小限にとどめた状態で異常データの影響を減じる。【解決手段】 測定器50は、被測定物100の面精度を測定して得られたデータ列(元のデータ列)をコンピュータ30に出力する。コンピュータ30は、元のデータ列に移動平均の処理を施して得られる処理後データ列を一時的に記憶する。続いてコンピュータ30は、元のデータ列を構成するデータと、処理後データ列を構成するデータとを、対応するデータ同士で個々に差をとる。コンピュータ30は、上記差の絶対値が予め定められた値を超すデータについて、元のデータ列中のデータを処理後データ列中のデータに置き換える。

請求項（抜粋）：

元のデータ列を構成するデータと、前記元のデータ列に予め定められた処理を施して得られる処理後データ列を構成するデータとを、対応するデータ同士で個々に差をとる手順と、前記差の絶対値が予め定められた値を超すデータについて、前記元のデータ列中のデータを前記処理後データ列中のデータに置き換える手順とを有することを特徴とするデータ処理方法。

Fターム (5件)：

5B022AA00 ,  5B022BA00 ,  5B022CA04 ,  5B022DA06 ,  5B022FA06