特許

J-GLOBAL ID：200903025720688237

広波長域ビームスプリッタ、光学装置、ビームスプリッタの製造方法及び平行光学ビーム合併法

発明者： ウォレン・ダブリュー・リン
出願人/特許権者： ナノメトリックス・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 清水 敬一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160991
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264813
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 深い紫外線から赤外線までの波長域で動作する非常に広い波長域で使用できかつ未被覆の透明物質で構成されるビームスプリッタ又は光学素子を提供する。【構成】 波長190ナノメータの深い紫外線から赤外線までの波長域で動作する非常に広い波長域のビームスプリッタは厚さが0.10〜0.15mmの未被覆の透明物質で構成される。

請求項（抜粋）：

波長190ナノメータの深い紫外線から赤外線までの波長域で動作し、平行な未被覆表面と0.15mm以下の厚さを有する透明物質で構成されることを特徴とする広波長域ビームスプリッタ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-002204
  
• 特開昭63-094219