特許
J-GLOBAL ID：200903025731460882
ロードロック装置のガス置換方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223822
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058093
出願日： 1993年08月17日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】ロードロック装置のガス置換に於いて、ガスの置換効率を向上させ、必要とされる置換ガス量の低減、ガス置換時間の短縮を図る。【構成】気密室内の置換対象物とは比重の異なる不活性置換ガスにより置換を行い、置換対象物と不活性置換ガスとが混合しにくくして置換効率を向上させる。
請求項（抜粋）：
気密室内の置換対象物とは比重の異なる不活性置換ガスにより置換を行うことを特徴とするロードロック装置のガス置換方法。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, C23C 14/56
, H01L 21/205
