特許
J-GLOBAL ID：200903025731752026
ポリッシング装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321260
公開番号（公開出願番号）：特開平7-001328
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：
【要約】【目的】 トップリング下面の綿密な洗浄やトップリング下面とポリッシング対象物の間にマット等の柔軟部材を介在させることなく、ポリッシング対象物の研磨面に特異点の発生がなく、高精度の平坦化ができる。【構成】 ターンテーブル20を回転駆動するターンテーブル駆動装置と、トップリング3を回転駆動するトップリング駆動装置と、トップリング3の下面に設けられたポリッシング対象物の外れ止めリング5とを備え、ポリッシング対象物に接触するトップリング下面を平滑に形成するとともに外れ止めリング5の内径をポリッシング対象物の外径より大きく形成し、ターンテーブル20の回転によってポリッシング対象物の外周面が外れ止めリング5の内周面に接触し、トップリング20の回転によって外れ止めリング5がポリッシング対象物に回転力を付与してポリッシング対象物に遊星運動をさせる。
請求項（抜粋）：
上面に研磨布を張ったターンテーブルとトップリングとを有し、前記ターンテーブルとトップリングとの間にポリッシング対象物を介在させて該ポリッシング対象物の表面を研磨し平坦化するポリッシング装置において、前記ターンテーブルを回転駆動するターンテーブル駆動装置と、前記トップリングを回転駆動するトップリング駆動装置と、前記トップリングの下面に設けられたポリッシング対象物の外れ止めリングとを備え、ポリッシング対象物に接触する前記トップリング下面を平滑に形成するとともに前記外れ止めリングの内径をポリッシング対象物の外径より大きく形成し、前記ターンテーブルの回転によってポリッシング対象物の外周面が前記外れ止めリングの内周面に接触し、前記トップリングの回転によって前記外れ止めリングがポリッシング対象物に回転力を付与して該ポリッシング対象物に遊星運動をさせることを特徴とするポリッシング装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
