特許

J-GLOBAL ID：200903025740281397

プラズマ反応用ガス及びその製造方法

発明者： 菅原 充 ,  山田 俊郎 ,  杉本 達也 ,  田中 公章
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081893
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282538
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 被エッチング材料への高い選択性を有するプラズマ反応用ガス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 炭素数5または6の鎖状パーフルオロアルキンを含むガスをドライエッチングに用いる。その際、プラズマ反応用ガスの全量に対して、前記鎖状パーフルオロアルキンの含有量が、99.9容量%以上であることが好ましい。また、プラズマ反応用ガスの製造方法としては、鎖状パーフルオロアルキンを含有する反応粗生成物を、0族の不活性ガス中で精留することが挙げられる。

請求項（抜粋）：

炭素数5または6の鎖状パーフルオロアルキンを含むプラズマ反応用ガス。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 105 A

Fターム (18件)：

5F004AA05 ,  5F004BA20 ,  5F004DA00 ,  5F004DB03 ,  5F045AA08 ,  5F045AB31 ,  5F045AC07 ,  5F045AD03 ,  5F045AD04 ,  5F045AD05 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AE19 ,  5F045AE21 ,  5F045AE23 ,  5F045AE25 ,  5F045AF10