特許
J-GLOBAL ID：200903025746759868
X線光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-257640
公開番号（公開出願番号）：特開平5-101797
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 X線を分光して利用するレーザープラズマ光源装置において分光されたX線の光量の変動が少なく安定性に優れたX線分光システムを実現し得るX線光源装置を提供することである。【構成】 真空容器2内に配置したターゲット物質6にレーザー光を照射し、該ターゲット物質6をプラズマ状態化してX線を発生させるようにしたX線光源装置において、上記ターゲット物質6は、原子番号が19よりも大きい元素から成ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空容器内に配置したターゲット物質にレーザー光を照射し、該ターゲット物質をプラズマ状態化してX線を発生させるようにしたX線光源装置において、上記ターゲット物質は、原子番号が19よりも大きい元素から成ることを特徴とするX線光源装置。
引用特許：
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