特許
J-GLOBAL ID：200903025764030352
単結晶シリコン製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182231
公開番号（公開出願番号）：特開平8-040796
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】【目的】 簡便な手段によって融液から発生する酸化シリコン粉を効率よく外部に排出できる単結晶シリコン製造装置を提供する。【構成】 黒鉛るつぼ5に包囲された石英るつぼの中の融液に種結晶を浸し、種結晶と黒鉛るつぼ5とを相互に反対方向に回転させながら種結晶を引き上げて単結晶シリコンを成長させるものであって、黒鉛るつぼ5の外周面に、その上縁から下方に向かって螺旋状の排出溝5aが複数本形成されているものである。
請求項（抜粋）：
るつぼ支持部材に包囲されたるつぼの中の融液に種結晶を浸し、前記種結晶と前記るつぼ支持部材とを相互に反対方向に回転させながら前記種結晶を引き上げて単結晶シリコンを成長させる単結晶シリコン製造装置であって、前記るつぼ支持部材の外周面に、その上縁から下方に向かって排出溝が形成されていることを特徴とする単結晶シリコン製造装置。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
