特許
J-GLOBAL ID：200903025764558136
波面センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205140
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056254
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【課題】 本発明は使用環境条件や入射光の条件が変化しても高精度に波面計測を行うことができる波面センサを得ることを目的とする。【解決手段】 レンズアレー9と、このレンズアレー9の集光スポット位置を検出するCCD10と、被測定波面とレンズアレー9を共役関係にするコリメータレンズ8と、上記CCD10の出力を基に波面を求める波面演算器21と、を有し被計測光の波面を計測する波面センサにおいて、校正時に、参照光源の入射光に対する波面センサの設置角度を変化させる波面センサの角度コントローラ502と、波面センサの上記設置角度の変化前後に得られたCCD10の出力を基にレンズアレー9とCCD10の距離の校正値を求める校正値演算器501と、を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レンズアレーと、このレンズアレーの集光スポット位置を検出する光電変換器と、被測定波面と上記レンズアレーを共役関係にする光学系と、上記光電変換器の出力を基に波面を求める波面演算器と、を有し被計測光の波面を計測する波面センサにおいて、校正時に、参照光源の入射光に対する波面センサの設置角度を変化させる波面センサの角度コントローラと、波面センサの上記設置角度の変化前後に得られた上記光電変換器の出力を基に上記レンズアレーと光電変換器間の距離の校正値を求める校正値演算器と、を設けたことを特徴とする波面センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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鏡面形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-196110
出願人：三菱電機株式会社
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