特許

J-GLOBAL ID：200903025770849266

基板用吸着装置

発明者： 鴨下 裕子 ,  石田 武久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289778
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105367
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 吸着パッドからの塵芥等の発生を防止し、円盤状記録媒体等の基板の品質を高度に維持する。【解決手段】 基板の少なくとも一方の主面を吸着する吸着部を有する基板用吸着装置において、上記吸着部は、基板と接する面が当該基板よりも硬質の材料からなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

基板の少なくとも一方の主面を吸着する吸着部を有する基板用吸着装置において、上記吸着部は、基板と接する面が当該基板よりも硬質の材料からなることを特徴とする基板用吸着装置。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  G11B 5/84

FI (2件)：

B25J 15/06 G ,  G11B 5/84 Z

Fターム (19件)：

3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT01 ,  3C007FT11 ,  3C007FU00 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB01 ,  3F061CB05 ,  3F061CC00 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112KK02