特許
J-GLOBAL ID：200903025774693252
アパーチャ絞り、その製造方法、及びこれを用いた荷電ビーム描画装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073398
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265930
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 荷電ビーム装置のアパーチャの位置調整を容易しうる荷電ビーム描画装置およびアパーチャ絞りを提供すること。【解決手段】 荷電ビーム装置およびビーム形状を制限するのに用いるアパーチャ絞りにおいて、アパーチャ絞り側面をテーパ形状にし、且つ荷電ビーム装置のアパーチャ保持機構の側面もアパーチャ絞りと同じくテーパ形状にすることによって、アパーチャの位置決めが容易にでき、ビーム調整を容易に行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
荷電ビーム装置のビーム形状を制限するのに用いるアパーチャ絞りにおいて、側面を逆テーパ形状にすることを特徴とするアパーチャ絞り。
IPC (4件)：
H01J 37/09
, H01J 37/305
, H01J 37/317
, H01L 21/027
H01J 37/09 A
, H01J 37/305 B
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/30 541 B
