特許
J-GLOBAL ID：200903025775677331
基板の高さ位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278395
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130635
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 基板上の複数の計測点における高さ位置を高スループットで高精度に検出することができる基板の高さ位置検出装置を提供すること。【構成】 基板上に複数の光束を照射して、基板上における光束の入射方向に複数の第1照射点を所定間隔で形成する投光手段は、基板上の第1照射点の配列線とは異なり、かつ当該配列線と平行な2つの線上に1つの第2照射点を形成する。受光手段は第1光束の反射光を個別に受光する第1受光素子を有するとともに、第1受光素子が検出可能な基板の高さ位置の範囲とほぼ同じ検出範囲で第2光束の一方の反射光を受光する第2受光手段と、基板の高さ位置が第2受光手段の検出範囲からずれた位置にあるとき、他方の第2光束の反射光を受光して、そのずれの方向を検出する方向センサとを有する。
請求項（抜粋）：
少なくとも2つの第1光束を基板に対して斜め方向から照射し、前記基板上の前記第1光束の入射方向に所定間隔で配列された少なくとも2つの第1照射点を形成する投光手段と、前記第1光束の前記基板からの反射光を少なくとも2つの第1受光素子によって個別に光電検出するとともに、前記基板の高さ位置と前記基板の高さ方向における所定の目標位置との前記高さ方向の偏差量に対応した信号を出力する第1受光手段と、前記基板を保持するとともに、前記高さ方向に移動可能なステージと、前記第1受光手段からの信号に基づいて、前記基板の高さ位置が前記目標位置と一致するように前記ステージの前記高さ方向への駆動を制御する制御手段とを有する基板の高さ位置検出装置において、前記投光手段は前記基板上の第1照射点の配列線とは異なり、かつ該配列線と平行な少なくとも1つの線上に1つの第2照射点が形成されるように、第2光束を前記基板上に照射し、前記第1受光素子中の1つの特定受光素子が検出可能な前記基板の高さ位置の検出範囲とほぼ同じ検出範囲を有し、前記第2光束の前記基板からの反射光を受光する第2受光手段と、前記基板の高さ位置が、前記第2受光手段の前記基板の高さ位置の検出範囲からずれた位置にあるとき、前記第2光束の前記基板からの反射光を受光して、少なくとも前記ずれの方向を検出する方向センサとを有することを特徴とする基板の高さ位置検出手段。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 7/207
, H01L 21/68
