特許

J-GLOBAL ID：200903025779002673

セラミックグリーンシートの作成方法、セラミックグリーンシートの作成装置、及び、該セラミックグリーンシートを用いた電子部品

発明者： 安田 明弘 ,  安永 拓見 ,  中村 孝直 ,  千石 則夫 ,  田上 文一 ,  戸崎 博己
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319893
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：

【要約】【目的】 水溶剤により作成するセラミックグリーンシートの乾燥時に生じやすい割れの発生を解消し、良好なセラミックグリーンシートを作成する。【構成】 キャリアフィルム1が乾燥機4内のキャリアフィルム支持板5上を流れ、その上にダム槽に入れられたセラミック粉末、バインダ及び水溶剤を主成分とする液状混合物であるスラリが、所定の間隔を設定したキャリアフィルムとドクタブレードとの隙間から排出され、乾燥機4内でシート状態のスラリの水溶剤が乾燥除去され、バインダの硬化によりセラミック粉末同志が固着されてグリーンシート10が作成される。前述の乾燥処理は、シートの幅方向に対して中央部の溶剤の乾燥速度が両側部より早くなるように、幅方向に配置された抵抗加熱型ヒータ12の温度を制御して行われる。

請求項（抜粋）：

水を溶剤とするセラミックグリーンシートの作成方法において、キャリヤフィルム上に塗布してシート状に成形したスラリの乾燥時の溶剤の揮発除去速度が、シートの幅方向のシートの両側部より中央部で早くなるようにすることを特徴とするセラミックグリーンシートの作成方法。

IPC (6件)：

C04B 35/00 ,  C04B 35/00 108 ,  B28B 1/30 101 ,  C04B 33/30 ,  C04B 35/64 301 ,  H05K 3/46