特許
J-GLOBAL ID：200903025783193998
非平衡プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028416
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228298
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 体積放電型のプラズマ放電を実現して誘電体の発熱を抑制できる、非平衡プラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】 円筒状の本体1と、本体1の両端部を封止する封止体2,3とからなり、本体1は、内部部材11、外部部材12、及び外側誘電体13からなっている。内部部材11は、円筒状の内部誘電体111内に円筒状の内部導電体112が同心に挿入されて構成され、外部部材12は、円筒状の外部導電体122内に円筒状の外部誘電体121が同心に挿入されて構成されている。内部部材11は、外部部材12内に、外部誘電体121と内部誘電体111との間に空間14を確保し且つ同心に、挿入されており、外部部材12は円筒状の外側誘電体13内に同心に挿入されている。
請求項（抜粋）：
筒状の内部誘電体内に筒状の内部導電体が挿入されてなる内部部材と、筒状の外部導電体内に筒状の外部誘電体が挿入されてなる外部部材とを備え、内部導電体及び外部導電体は、それぞれ筒壁が網体又は細線の絡んだもの又はその両方で構成されており、外部部材内に、外部誘電体と内部誘電体との間に空間を確保し且つ同心に、内部部材が挿入されており、上記空間のみに、上記空間内を反応物が通過するよう、反応物の入口及び出口が連通されており、上記空間で非平衡プラズマが発生するようになっていることを特徴とする非平衡プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4G075AA03
, 4G075AA07
, 4G075AA15
, 4G075AA43
, 4G075BA01
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075EB21
, 4G075EB27
, 4G075EC06
, 4G075EC21
, 4G075EE02
