特許
J-GLOBAL ID：200903025783832699
ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231221
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040629
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】ペリクル板の自重による撓みの発生を防止、もしくは極力抑えることができるペリクル板とペリクルフレームとの接着方法を提供する。【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル板5を、合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなるペリクルフレーム3上に接着剤4を介して載置し、20°C以下の温度にて接着剤を硬化させる。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスからなるペリクル板を、合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなるペリクルフレーム上に接着剤を介して載置し、20°C以下の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリクル板とペリクルフレームとの接着方法。
Fターム (1件)：
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