特許
J-GLOBAL ID：200903025795673677
基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-032939
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221163
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 スループットを向上し、安価でかつ、小型化できるようにする。【構成】 上下に平行に設けられた2本の搬送アーム20,24を、処理室1の支点位置Dを回転支点として水平方向に回転自在に設け、処理室1の待機位置Cから,一方の搬送アーム20の支持部10を処理室1の処理位置Aに,他方の搬送アーム24の支持部10をロードロック室3の着脱位置Bにそれぞれ同時に往復移行し,その後一方の搬送アーム20の支持部10を前記着脱位置Bに,他方の搬送アーム24の支持部10を前記処理位置Aにそれぞれ同時に往復移行する移行手段25とを備える。
請求項（抜粋）：
処理位置で基板に処理を行う処理室と、該処理室に隣接して設けられ着脱位置で基板を交換するロードロック室と、前記処理室と前記ロードロック室との間に設けられたゲートバルブと、上下に平行に設けられ,前記処理室の支点位置を回転支点として水平方向に回転自在に設けられた2本の搬送アームと、該両アームの先端部に形成された基板の支持部と、前記処理室の待機位置から,一方の前記支持部を前記処理位置に,他方の前記支持部を前記着脱位置にそれぞれ同時に往復移行し,その後前記一方の支持部を前記着脱位置に,前記他方の支持部を前記処理位置にそれぞれ同時に往復移行する移行手段と、前記処理位置及び前記着脱位置に上下動自在に設けられた昇降軸と、該両昇降軸の上端に形成され,前記支持部との間で基板を受け渡しする基板載置体とを備えた基板搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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