特許

J-GLOBAL ID：200903025796945344

ピックアップ装置及びワークのピックアップ方法並びにそのプログラムを格納した記憶媒体

発明者： 藤田 雅洋 ,  宮下 保輝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-002896
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196442
出願日： 2000年01月11日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 半導体チップや液晶パネル等のワークの厚さやテープの厚さの影響を受けることなく、ピックアップ高さを自動的に調整、設定することができ、かつ、高速かつ高精度に区間移動を行うことができるピックアップ装置を提供する。【解決手段】 ピックアップヘッド10は、大別して、Y軸-Z軸移動機構から延伸する支持部材の先端部分に取り付けられたベース部材11と、チップを吸着保持する吸着コレット12と、吸着コレット12が一方の先端部分に設けられ、ベース部材11に対して、独立して上下動可能なように取り付けられたシャフト13と、ベース部材11の所定の位置に設けられ、シャフト13の他端側に設けられたセンサープレート15を検知して、吸着コレット12とチップCPとの接触状態を検知する近接センサ14と、吸着コレット12の吸着面12aの気圧を減圧させる減圧機構16と、を有して構成されている。

請求項（抜粋）：

ピックアップ作業の対象となるワークを突き上げた状態で、該ワークをピックアップし、所定の位置に移送するピックアップ装置において、前記ワークを背面側から突き上げる突き上げピンを備えた突き上げユニットと、前記ワークを前面側からピックアップする吸着コレットを備えたピックアップユニットと、前記ワークと前記吸着コレットとの接触状態を検出する接触状態検出手段と、前記接触状態検出手段により検出される、前記ワークのピックアップ高さに関する情報を保存する記憶手段と、前記記憶手段に保存された前記ピックアップ高さに関する情報に基づいて、前記ワークのピックアップ動作を制御するピックアップ制御手段と、を有することを特徴とするピックアップ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/52

FI (2件)：

H01L 21/68 E ,  H01L 21/52 F

Fターム (21件)：

5F031CA13 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA23 ,  5F031GA36 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA01 ,  5F031JA14 ,  5F031JA21 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA18 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031MA35 ,  5F031MA40 ,  5F031PA02 ,  5F047FA01 ,  5F047FA08