特許
J-GLOBAL ID：200903025804035271
シート状弾性発泡体及びそれを用いたウェーハ研磨加工用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203039
公開番号（公開出願番号）：特開平6-023664
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】【目的】 平坦度の良好な鏡面研磨ウェーハが得られる、ウェーハのワックスレス研磨用バッキングパッドとして使用できるシート状弾性発泡体を提供する。【構成】 少なくとも下記発泡層2を有するシート状弾性発泡体であって、発泡層2の複数の気泡4が、(1) 発泡層2の広さ方向にほぼ等ピッチで並立分散する細長の独立気泡であり、当該発泡層2の厚さ方向に気泡4の寸法、形状及び形成位置がほぼ等しく、(2) 気泡4の長さ方向の中心線が、発泡層2の厚さ方向に沿っていて、(3) 気泡4の直径が発泡層2の片面側の端部において最小であり、かつこの片面側から発泡層2の他面側に向かって漸増しているとともに、該発泡層2表面において開口部6を形成していることを特徴とするシート状弾性発泡体。
請求項（抜粋）：
少なくとも下記発泡層を有するシート状弾性発泡体であって、発泡層の複数の気泡が、(1) 発泡層の広さ方向にほぼ等ピッチで並立分散する細長の独立気泡であり、当該発泡層の厚さ方向に気泡の寸法、形状及び形成位置がほぼ等しく、(2) 気泡の長さ方向の中心線が、発泡層の厚さ方向に沿っていて、(3) 気泡の直径が発泡層の片面側の端部において最小であり、かつこの片面側から発泡層の他面側に向かって漸増しているとともに、該発泡層表面において開口部を形成していることを特徴とするシート状弾性発泡体。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
