特許
J-GLOBAL ID：200903025804062236
圧電デバイス及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-301788
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162873
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 構造が簡単で、小型化及び薄型化が容易で、且つ量産可能な圧電デバイス及び歩留りの向上及び特性の劣化が起こりにくい圧電デバイスの製造方法を提供する。【構成】 圧電体1と蓋部材2a、2bとを直接接合し、被接合面間に突起物3を設け、突起物3により圧電体1と蓋部材2a、2bとの間に空隙部5を形成し、空隙部5には励振電極4を設け、励振電極4を直接接合界面を通じて平面的に引き出し、空隙部5が実質上気密封止されている。
請求項（抜粋）：
圧電体と、前記圧電体の片面又は両面に直接接合された蓋部材と、前記圧電体と前記蓋部材の直接接合界面間に部分的に設けられ、前記圧電体と前記蓋部材との間に内部空間を形成するためのた突起物と、前記突起物により形成された空隙内に形成された電極とを具備し、前記空隙内が実質上気密封止されている圧電デバイス。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H03H 9/02
, H03H 9/10
, H03H 9/17
