特許
J-GLOBAL ID：200903025813731590
X線光学素子の冷却装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-188407
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054498
出願日： 1994年08月10日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】光学素子冷却面における沸騰開始熱流束を向上させ、その結果より高いエネルギーレベルのX線の入射に耐えられる低温冷却装置を得ること。【構成】X線を分光または反射する光学素子を低温液化ガスによって除熱する光学素子の冷却装置であって、前記光学素子の冷却流路12の表面に弗素樹脂等の濡れ性の悪い樹脂14をコーティングしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
X線を分光または反射する光学素子を低温液化ガスによって除熱する光学素子の冷却装置であって、前記光学素子の冷却流路の表面に弗素樹脂等の濡れ性の悪い樹脂をコーティングしたことを特徴とするX線光学素子の冷却装置。
IPC (2件)：
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