特許

J-GLOBAL ID：200903025813844387

基板端面用超音波励振装置及びこれを備えた基板端面用超音波洗浄装置

発明者： 岡野 勝一 ,  大河原 淳平
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221882
公開番号（公開出願番号）：特開2001-046985
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物の端面を非接触で洗浄して高清浄度で維持することができ、装置の複雑化、大型化及び高コスト化を回避し、かつ洗浄液の省液化を達成することができる基板端面用超音波励振装置及び基板端面用超音波洗浄装置を提供すること。【解決手段】 中空の箱状に形成されて底面に200kHz以上の超音波振動を発生する振動子4を備える超音波タンク2に、基板の端面及び端面近傍が遊挿される切り欠き凹部2aを形成する。基板の表面及び裏面の洗浄のために供給される洗浄用流体12は、切り欠き凹部2aから超音波タンク2の内部に流入して貯留されるとともに、振動子4からの超音波振動により励振され、基板の端面及び端面近傍を非接触で洗浄する。

請求項（抜粋）：

200kHz以上の超音波振動を発生する振動子と、中空の箱状に形成されて前記振動子が結合された超音波タンクとを有し、前記超音波タンクは、基板の端面及び端面近傍が遊挿される切り欠き凹部を備え、前記切り欠き凹部から流入する洗浄用流体を内部に貯留して前記超音波振動により励振することを特徴とする基板端面用超音波励振装置。

IPC (2件)：

B08B 3/12 ,  H01L 21/304 642

FI (2件)：

B08B 3/12 B ,  H01L 21/304 642 E

Fターム (12件)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BA02 ,  3B201BA13 ,  3B201BB03 ,  3B201BB62 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB93 ,  3B201CB23 ,  3B201CB25 ,  3B201CD22