特許
J-GLOBAL ID：200903025820014160
薄膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193259
公開番号（公開出願番号）：特開平9-041141
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 径の異なる冷却キャンロールを多数用意する必要がなく、かつ、良好な特性を有する薄膜を成膜する為に冷却キャンロールの径を如何にすれば良いかを簡単に知ることが出来る薄膜形成装置を提供することである。【解決手段】 真空槽内で金属材料を飛散させ、この飛散した金属材料を走行する支持体に堆積させることにより、支持体表面に薄膜を形成する装置であって、支持体の供給手段及び巻取手段と、この供給手段から巻取手段に至る経路の途中で支持体と接し、各々の軸が円弧形状のラインに沿って配置された複数個の単位冷却キャンロールと、この複数個の単位冷却キャンロールの軸位置を移動させる移動手段と、金属材料が収納される容器と、この容器内の金属材料を加熱する加熱手段とを具備し、前記単位冷却キャンロールの軸位置を移動することにより、複数個の連なった単位冷却キャンロールが所定の曲率半径を有する仮想曲面を形成するようにした薄膜形成装置。
請求項（抜粋）：
真空槽内で金属材料を飛散させ、この飛散した金属材料を走行する支持体に堆積させることにより、支持体表面に薄膜を形成する装置であって、支持体の供給手段及び巻取手段と、この供給手段から巻取手段に至る経路の途中で支持体と接し、各々の軸が円弧形状のラインに沿って配置された複数個の単位冷却キャンロールと、この複数個の単位冷却キャンロールの軸位置を移動させる移動手段と、金属材料が収納される容器と、この容器内の金属材料を加熱する加熱手段とを具備し、前記単位冷却キャンロールの軸位置を移動することにより、複数個の連なった単位冷却キャンロールが所定の曲率半径を有する仮想曲面を形成するようにしたことを特徴とする薄膜形成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 B
, G11B 5/85 A
