特許

J-GLOBAL ID：200903025822992909

試料ホルダ及びホルダ固定具

発明者： 加藤 俊弘
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107772
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293475
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 TEM試料を加工・観察・分析する場合、試料の乗せ換えを不要とし、しかも接着剤を用いる事なく試料を固定可能な試料ホルダを提供すること。【解決手段】 試料ホルダ1は、導電性の金属で形成されており、側端部には固定部3が形成されており、底部には突出部4が形成されている。また、半導体7を固定するために、試料搭載部5が形成されており、側部には半導体7を固定するための試料保持部2が形成されている。半導体7の裏面を試料搭載部5と合わせることにより半導体7の位置が固定され、試料保持部2により半導体7が常に一定の角度で固定され、接着剤を用いることなく固定できる。そして、この試料ホルダ1をFIB、SEM、TEM、イオンミリングに着脱する事によりあらゆる角度から微細加工、高解像度観察、高分解能分析を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

試料を保持する試料ホルダにおいて、試料が搭載される試料搭載部と、該試料搭載部上の試料を保持する試料保持部と、前記試料ホルダを集束イオンビーム装置用治具受け台に固定するために利用される突出部と、透過型電子顕微鏡用ホルダ受け台に固定するための固定部とを有することを特徴とする試料ホルダ。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/28 Z