特許

J-GLOBAL ID：200903025830038319

ハウジングと共に電気コネクタを有する静電チャック

発明者： ハーチェン ハーラルド
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551433
公開番号（公開出願番号）：特表2002-517093
出願日： 1999年05月03日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】処理チャンバ(30)内に基板(25)を保持するのに有用な静電チャック(20)は、処理チャンバ内の電圧供給端子(60)によって供給される電圧によって帯電可能である。静電チャック(20)は、電極(35)をカバーしている誘電性部材(40)と、オプションとして誘電性部材の下のベース(50)と、電極(35)と処理チャンバ(30)内の電圧供給端子(60)との間を電気的に接続することができる少なくとも1つの電気コネクタ(55)とを含む。電気コネクタ(55)は、ベース(50)を貫通していて電極(35)をチャンバ(30)内の電圧供給端子(60)に電気的に接続する導電体(65)と、導電体(65)を取り囲んでいるハウジング(70)とを含む。一バージョンでは、ハウジング(70)は膨張可能であり、導電体(65)の周りに実質的にガスシールされた環境を作る。好ましくは、ハウジング(70)は、処理チャンバ(30)内においてチャック(20)を使用中に、ハウジング(70)内のガスのアーキング及びプラズマ放電を減少させるのに十分に小さくサイズ決めされた寸法を有している。

請求項（抜粋）：

基板を処理チャンバ内に保持するための静電チャックであって、上記静電チャックは上記処理チャンバ内の電圧供給端子によって供給される電圧によって帯電させることができ、上記静電チャックは、 (a)電極をカバーしている誘電性部材と、 (b)上記電極と電気的に係合する導電体、及び上記導電体を取り囲んでいる膨張可能なハウジングを含み、上記電極と上記処理チャンバ内の電圧供給端子との間を電気的に接続することが可能な電気コネクタと、を備えていることを特徴とする静電チャック。

Fターム (8件)：

5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA19 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05