X線発生装置およびそれを使用した非破壊検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004520
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199291
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】X線源の焦点サイズを小さくしても運転に問題が生じないようなX線発生装置を提供する。【解決手段】X線発生装置は、真空容器9と10からなり、その境界を金属箔11で区別され、それぞれ真空ポンプ12でそれぞれの容器を減圧する。真空容器9は電子発生装置13と電子加速装置14からなり、電子発生装置13から発生した電子は電子加速装置14で所定のエネルギまで加速される。真空容器10には、電子収束装置15とターゲット16および弁18がある。真空容器9で加速した電子は、金属箔11を通過して真空容器10へと入る。電子は慣性により直進し、電子収束装置15の部分で収束される。収束した電子はターゲット16に衝突してX線を発生する。ターゲット16は電子の衝突により溶ける恐れがあるので、ターゲット移動機構17によりスキャンできる。

請求項（抜粋）：

電子を加速して、加速した電子をターゲットに衝突させ、その衝突の際にX線を発生するX線発生装置において、前記X線発生装置が二つの真空容器を持ち、前記二つの真空容器の境界を金属箔で区別し、一方の真空容器には電子発生装置と電子加速装置と真空ポンプとを備え、他方の真空容器には電子収束装置と電子が衝突してX線を発生するためのターゲットと真空ポンプを装備したことを特徴とするX線発生装置。

IPC (6件)：

H05G 1/00 , G01N 23/04 , G21K 1/087 , G21K 5/00 , G21K 5/08 , H01J 35/16

FI (6件)：

H05G 1/00 D , G01N 23/04 , G21K 1/087 F , G21K 5/00 W , G21K 5/08 X , H01J 35/16

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