光学的測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鹿島義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-138093
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321244
出願日： 2004年05月07日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】高感度で屈折率などの光学特性を測定することができる光学的測定装置を提供する。【解決手段】光導波路22の第1端面25、第2端面26以外の少なくとも一部の側面22sを被測定物Sが存在する空間と接するように配置した被測定物感知領域24が設けられてなるセンサ部20と、光導波路22の透過スペクトルまたは反射スペクトルを取得するための入射光を第1端面25に放射する光源31と、第2端面26から放射される透過光を光導波路22からの出射光として検出する光検出器41とを備え、光導波路22には、一部透過反射膜25a、26aを第1端面および第2端面のそれぞれに形成した光共振器を設け、光導波路22内に入射した入射光が光共振器で多重反射して出射したときの第2端面26からの出射光により得られる透過スペクトルに基づいて被測定物に関する情報を計測する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに離隔する第1端面、第2端面を有する光導波路が形成されるとともに、この光導波路の第1端面、第2端面以外の少なくとも一部の側面を被測定物が存在する空間と接するように配置した被測定物感知領域が設けられてなるセンサ部と、光導波路の透過スペクトルまたは反射スペクトルを取得するための入射光を第1端面に放射する光源と、第1端面から放射される反射光、または、第2端面から放射される透過光のいずれかを光導波路からの出射光として検出する光検出器とを備え、光導波路には、入射光波長に対しての一部透過反射膜を光導波路の第1端面および第2端面のそれぞれに形成した光共振器が設けられ、光導波路内に入射した入射光が光共振器で多重反射して出射したときの第2端面からの出射光により得られる透過スペクトル、または、第1端面からの出射光により得られる反射スペクトルのいずれかに基づいて被測定物に関する情報を計測することを特徴とする光学的測定装置。

IPC (2件)：

G01N21/27 , G01N21/39

FI (2件)：

G01N21/27 C , G01N21/39

Fターム (34件)：

2G045DA36 , 2G045FA11 , 2G045GC09 , 2G045GC11 , 2G059AA01 , 2G059AA02 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059BB12 , 2G059CC05 , 2G059CC16 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE04 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059FF08 , 2G059FF09 , 2G059GG01 , 2G059HH02 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ13 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK02 , 2G059KK03 , 2G059LL03 , 2G059MM04 , 2G059NN02

引用特許：

出願人引用 (1件)

センサデバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-538783 出願人：ファーフィールド・センサーズ・リミテッド

審査官引用 (2件)

センサデバイス
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-538783 出願人：ファーフィールド・センサーズ・リミテッド
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-080936 出願人：矢崎総業株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

5.光温度センサー

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