特許
J-GLOBAL ID：200903025855580959
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-340105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184520
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 温度補償機能を有する圧力センサをコンパクトに構成する。【構成】 ケーシング本体11を熱膨張率の大きいC2800等の銅合金から形成し、受圧ロッド16をこれよりも熱膨張率の小さいジルコニア等から形成する。これにより、周囲温度が常温(20°C)から150°C程度まで上昇した場合でも、ダイヤフラム14の膨張を受圧ロッド16の膨張よりも大きくでき、周囲温度が150°Cのときに圧電体18にかかる荷重を常温時よりも減少させ、温度上昇による圧電体18の圧電定数変化分をほぼ相殺することができる。
請求項（抜粋）：
一端側に圧力に応じて撓み変形するダイヤフラムが設けられたケーシング本体と、一端側が前記ダイヤフラムに当接するように該ケーシング本体内に設けられ、前記ダイヤフラムの変形に応じて軸方向に変位する受圧ロッドと、該受圧ロッドの他端側に位置して前記ケーシング本体内に設けられ、該受圧ロッドの変位に応じた検出信号を出力する圧電体と、前記ケーシング本体内に設けられ、該圧電体に予荷重を与えるように、該圧電体を受圧ロッドとの間で位置決めした位置決め手段とからなる圧力センサにおいて、周囲温度の変化による前記圧電体の温度特性に基づき、前記ケーシング本体が有する熱膨張率に対し、前記受圧ロッドの熱膨張率が小さくなる関係をもった材料によって形成したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 23/10
, G01L 9/08
, G01L 19/04
