特許
J-GLOBAL ID：200903025867645304
切断方法および切断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-011354
公開番号（公開出願番号）：特開2007-194418
出願日： 2006年01月19日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】ウエハの製造コストを低減することのできる切断方法および切断装置を提供する。【解決手段】切断方法は、有価値部分7と、有価値部分7よりも小径である円錐部分3とを有するインゴットの切断方法であって、以下の工程を備えている。円錐部分3の先端部11をインゴットから切り出す。先端部11における切断面11aの面方位を測定する。この面方位に基づいて、インゴットにおける切断面の位置を調整する(調整工程)。インゴットから円錐部分3を除去する(除去工程)。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
円筒部分と、前記円筒部分よりも小径である小径部分とを有するインゴットの切断方法であって、
前記小径部分の一部を前記インゴットから切り出す工程と、
前記一部における切断面の面方位を測定する工程と、
前記面方位に基づいて、前記インゴットの円筒部分における切断面の位置を調整する調整工程と、
前記インゴットから前記小径部分を除去する除去工程とを備える、切断方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304
, B28D 5/02
, B28D 5/04
H01L21/304 611B
, B28D5/02 B
, B28D5/04 B
3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB03
, 3C069CA04
, 3C069CB02
, 3C069EA04
