特許

J-GLOBAL ID：200903025881589395

小型赤外線センサ及びその製造方法

発明者： 喜多山 和也 ,  相澤 浩一
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-129900
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327448
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 広角に赤外線を検知できる赤外線センサの小型化を図る。【構成】 赤外線検出素子3を形成した素子基板1に、凹部7aを形成した封止用シリコン基板7を接合して、赤外線検出素子3を凹部7a内に封止する小型赤外線センサにおいて、封止用シリコン基板7の一部分をレンズ状に形成した。【効果】 赤外線を集光する光学系と赤外線センサを一体化することができ、赤外線センサの小型化が図れる。また、赤外線センサと光学系とのアセンブリを考慮する必要がなくなる。さらに、新たに光学系を必要としないため、コストを抑えることができる。

請求項（抜粋）：

赤外線検出素子を形成した素子基板に、凹部を形成した封止用シリコン基板を接合して、前記赤外線検出素子を前記凹部内に封止する小型赤外線センサにおいて、前記封止用シリコン基板の一部分がレンズ状に形成されていることを特徴とする小型赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/04 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/08

FI (3件)：

G01J 1/04 A ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/08