特許
J-GLOBAL ID：200903025889306007
基板外観検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051436
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253543
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】ハードディスク用カーボン基板等の被検査基板の表面における凹凸欠陥を検出し、該検出結果に基づきメディア品質上のランク分けを行う。【解決手段】被検査基板の検査面に対して直角に平行光を照射して検査面からの反射光を撮像し、検査面上の凹凸欠陥を明暗異常部として検出する(S1〜S9)。そして、検出された欠陥の検出画素数を、基板をメディア化したときのミッシングエラー個数に相当するサーティーエラーカウント値MCFに換算し(S10,S11)、該換算値MCFに基づいて基板品質をランク分けする(S15)。
請求項（抜粋）：
被検査基板の検査面に対して直角に平行光を照射する平行光照射手段と、前記平行光の被検査基板からの反射光を撮像する撮像手段と、該撮像手段により撮像された画像から検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出された欠陥の検出画素数を、予め設定された相関に基づいて前記被検査基板をメディア化したときのミッシングエラー個数に相当するエラーカウント値に変換するデータ変換手段と、該データ変換手段により変換されたエラーカウント値に基づいて前記被検査基板の品質をランク分けするランク分け手段と、を含んで構成されたことを特徴とする基板外観検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G11B 5/84 C
