基板回転保持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-312326
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】基板への挟持力を高めることなく、また、高い回転加速度を加えた場合であっても基板の相対回転を防止できる基板回転保持装置を提供すること。【解決手段】オリエンテーションフラット部Waが形成された略円板状のウエハWを保持・回転する基板回転保持装置40において、回転軸41と、この回転軸41の一端側に設けられた回転板42と、回転板42に配設されウエハWを保持するウエハチャックピン52e〜57eと、これらウエハチャックピン52e〜57eをウエハWに対して接離移動させることによりウエハWへの圧接保持及び圧接解除を行う開閉機構50とを備え、ウエハチャックピン52e〜57eのうち1個のウエハチャックピン57eをオリエンテーションフラット部Waに圧接するように設けるようにした。

請求項（抜粋）：

オリエンテーションフラット部が形成された略円板状の基板を保持・回転する基板回転保持装置において、回転軸と、この回転軸の一端側に設けられた回転板と、この回転板に配設され前記基板を保持する少なくとも3個のチャックピンと、これらチャックピンを前記基板に対して接離移動させることにより前記基板への圧接保持及び圧接解除を行うチャックピン開閉手段とを備え、前記チャックピンのうち少なくとも1個のチャックピンは前記オリエンテーションフラット部に圧接するように設けられていることを特徴とする基板回転保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/06 303

FI (3件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/68 M , B23Q 3/06 303 G

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