特許
J-GLOBAL ID:200903025894147154
絶縁体被膜層担持電極を有する気体励起装置、及び気体励起方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森田 憲一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-282186
公開番号(公開出願番号):特開2006-100031
出願日: 2004年09月28日
公開日(公表日): 2006年04月13日
要約:
【課題】気体励起効率を向上させ、製造コスト及びランニングコストの低減化を実現することができる気体励起装置及び気体励起方法を提供する。【解決手段】気体励起装置10Aは、被処理気体の流入用開口部102と処理済み気体の排出用開口部103とを有するハウジング101内に、交流電源と接続する少なくとも一対の電極16A,16Bを備え、前記の一対の電極が保護電極と保護電極との組合せであるか又は保護電極と露出電極との組合せであり、少なくとも1つの保護電極が、芯電極16Xと、その芯電極の表面上に全表面を覆って担持された絶縁体被膜層16Yとからなる。【選択図】図1(b)
請求項(抜粋):
被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、交流電源と接続する少なくとも一対の電極を備え、前記の一対の電極が保護電極と保護電極との組合せであるか又は保護電極と露出電極との組合せである気体励起装置であって、少なくとも1つの保護電極が、芯電極と、その芯電極の表面上に全表面を覆って担持された絶縁体被膜層とからなることを特徴とする、前記の気体励起装置。
IPC (3件):
H05H 1/24
, B01J 19/00
, H01T 23/00
FI (3件):
H05H1/24
, B01J19/00 A
, H01T23/00
Fターム (17件):
4G075AA03
, 4G075BA01
, 4G075BA10
, 4G075CA15
, 4G075EB01
, 4G075EC21
, 4G075EE02
, 4G075EE04
, 4G075EE12
, 4G075FA01
, 4G075FA05
, 4G075FA12
, 4G075FA14
, 4G075FB04
, 4G075FB06
, 4G075FB12
, 4G075FC15
引用特許:
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