特許

J-GLOBAL ID：200903025897101821

表面弾性波素子

発明者： 佐藤 勝男 ,  上條 輝文 ,  成宮 義和 ,  中山 正俊 ,  柴原 正典
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244275
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063500
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 基板とその上に形成したダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層との界面から反射して生じるバルク波によるスプリアス信号を抑制し且つ基板とダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層との密着性を向上するような表面弾性波素子を提供する。【構成】 基板上にダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層及び圧電体層を順次備える表面弾性波素子において、ダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層と基板の界面が粗面化されていることを特徴とする上記表面弾性波素子である。

請求項（抜粋）：

基板上にダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層及び圧電体層を順次備える表面弾性波素子において、上記ダイヤモンド状炭素膜あるいは単結晶ダイヤモンド膜層と基板との界面が粗面化されていることを特徴とする上記表面弾性波素子。