荷電粒子線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150810
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017383
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】外部の振動により試料室が横方向に揺れても、電子線光軸に対する試料の位置が変わらない荷電粒子線装置を提供すること。【構成】 1は電子銃や集束レンズ等を備えた鏡筒、2は試料室、3はベースプレートである。4はZステージで、Zステージ4は試料室の上部内壁に固定されている。5Tステージで、Tステージ5はZステージ4に取り付けられている。6は試料ステージで、試料ステージ6はTステージ5に取り付けられている。7はRステージで、Rステージ7は試料ステージ6上に置かれている。8はYステージで、Yステージ8はRステージ7の上に置かれている。9はXステージで、Xステージ9はYステージ8の上に置かれている。10は試料で、試料10はX,YステージによりX,Y方向に移動し、また、Rステージ7により回転する。なお、構成4〜9が試料移動機構に対応する。

請求項（抜粋）：

電子銃から射出された電子線を試料室に配置された試料に照射する荷電粒子線装置において、試料を移動させる試料移動機構を試料室の上部内壁に取り付けたことを特徴とする荷電粒子線装置。

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