固体撮像素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-221022
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037257
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】簡便な構成で、反射防止効果、さらにはノイズ、フレア、スミア防止に著しい効果のある固体撮像素子を提供することを目的とする。【解決手段】半導体基板11に光電変換素子21、遮光部31、平坦化層41、カラーフィルタ51、平坦化層42が形成された撮像素子基板50にアンダーコート層61、光吸収層63、樹脂レンズ71上にポーラス層72が形成されたマイクロレンズ70と、マイクロレンズ70上の空間90を介して反射防止膜82bが形成された透明基板81を配設して固体撮像素子100を得る。マイクロレンズ70は樹脂レンズ71上にポーラス層72を形成しているので、マイクロレンズ70表面より入射光が反射するのを防止している。

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子と、透明樹脂層上に形成された複数のマイクロレンズと、該マイクロレンズ上に空間を設けて透明基板を配設した固体撮像素子において、前記マイクロレンズと相対する面側の透明基板に反射防止膜を形成し、かつ、複数のマイクロレンズ及びマイクロレンズ間の透明樹脂層の表面を覆うように光学的ボイドを有するポーラス層からなる反射防止膜を形成したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (2件)：

H04N 5/335 V , H01L 27/14 D

Fターム (13件)：

4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118CA02 , 4M118CA32 , 4M118CA34 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX03 , 5C024CX13 , 5C024CY47 , 5C024EX43 , 5C024EX55

前のページに戻る