特許

J-GLOBAL ID：200903025905703100

表面織目模様の放射層を有する太陽電池

発明者： ヴェトリング.ヴォルフラム ,  グランツ.ステファン
出願人/特許権者： フラウンホファー.ゲゼルシャフト.ツール.フォルデンウング.デール.アンゲヴァンドテン.フォルシュング.エー.ファウ
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-503512
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508088
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】本発明は、基板材料上にnドーピング放射層を有する格子状表面織目模様を形成した太陽電池およびその製造方法に関するものである。本発明においては、最初に基板材料の全表面に拡散ドーピング法によりn++ドーピング層を付与した放射層を形成し、次に該放射層上に、頂端部がn++ドーピング層よりなり基部が基板材料自体であるような断面尖頭形の横梁状突起が多数十字交差状に形成された表面織目模様が得られるようなフォトマスクを使用して選択的エッチングを行って太陽電池を得るものである。

請求項（抜粋）：

基板材料上に格子状表面織目模様を形成したnドーピング放射層を有する太陽電池の製造方法であって、 前記基板材料の表面部全面にn++ドーピング層を形成する工程と、 選択的エッチングすることによって頂部がn++ドーピング層からなり基底部が前記基板材料からなる断面尖頭形の横梁状配列突起が十字交差状に多数配列されて表面織目模様を形成するようなマスクを使用して前記基板材料の表面を選択的エッチングする工程と、からなることを特徴とする太陽電池製造方法。