特許
J-GLOBAL ID：200903025910286232
金属膜の成膜方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-235023
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102068
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 金属膜の密着強度が高く、かつ、金属膜が綺麗に成膜され、しかも簡単に実施できる技術を提供することである。【構成】 樹脂製の支持体上に金属膜を成膜する方法であって、前記支持体に紫外線を照射する紫外線照射工程と、この紫外線照射工程により紫外線照射を受けた支持体上に金属粒子を堆積させる金属膜成膜工程とを具備する金属膜の成膜方法。
請求項（抜粋）：
樹脂製の支持体上に金属膜を成膜する方法であって、前記支持体に紫外線を照射する紫外線照射工程と、この紫外線照射工程により紫外線照射を受けた支持体上に金属粒子を堆積させる金属膜成膜工程とを具備することを特徴とする金属膜の成膜方法。
IPC (4件)：
G11B 5/85
, C23C 14/02
, C23C 14/14
, C23C 14/56
