パターン検査方法及びパターン検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302807
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141930
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】パターンの突起、欠損、断線又は短絡を高速に検査する。【解決手段】被測定パターンのCADデータから第1のマスタパターンを作成する(ステップ102)。第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して欠損又は断線検出用の第2のマスタパターンを作成し、第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第3のマスタパターンを作成する(ステップ103)。被測定パターンと第2、第3のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出する(ステップ107)。欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第1のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査する(ステップ108)。

請求項（抜粋）：

被測定パターンの設計時のCADデータあるいは被測定パターンの良品から作成した第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第2のマスタパターンを作成すると共に、前記第1のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第3のマスタパターンを作成し、被測定パターンと第2のマスタパターンの論理積をとると共に被測定パターンと第3のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出し、この欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第1のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/60 311 , H01L 21/66 , H05K 3/00

FI (5件)：

G01B 11/24 K , H01L 21/60 311 W , H01L 21/66 J , H05K 3/00 V , G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-262192
特開昭62-262192
特開昭62-262192

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