特許

J-GLOBAL ID：200903025911760000

ガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡

発明者： 高澤 信明
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-053966
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254886
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 物質表面の微小領域分析において、従来の走査プローブ顕微鏡を利用した方法に比べて、更に高い空間分解能を確保し、かつ物質の化学構造の同定を可能にする手段を提供する。【解決手段】 カンチレバーの一端側に固定されたプローブの先端で観察試料の観察点を加熱して気化および分解する手段、およびプローブ先端の開口からプローブ内およびカンチレバー内を通ってカンチレバーの他端側の開口まで連通するガス導路を備えた走査プローブ顕微鏡と、ガス導管を介して上記カンチレバー他端側開口からのガスを受け入れるガスクロマトグラフ質量分析器とから成ることを特徴とするガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの一端側に固定されたプローブの先端で観察試料の観察点を加熱して気化および分解する手段、およびプローブ先端の開口からプローブ内およびカンチレバー内を通ってカンチレバーの他端側の開口まで連通するガス導路を備えた走査プローブ顕微鏡と、ガス導管を介して上記カンチレバー他端側開口からのガスを受け入れるガスクロマトグラフ質量分析器とから成ることを特徴とするガスクロマトグラフ走査プローブ顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 13/10 ,  G01N 30/04 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/12 ,  G01N 30/16 ,  G01N 1/22

FI (7件)：

G01N 13/10 F ,  G01N 13/10 H ,  G01N 30/04 A ,  G01N 30/06 G ,  G01N 30/12 S ,  G01N 30/16 K ,  G01N 1/22 E

Fターム (11件)：

2G052AD02 ,  2G052AD32 ,  2G052AD42 ,  2G052BA02 ,  2G052BA14 ,  2G052CA04 ,  2G052EB01 ,  2G052EB11 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052GA36