特許

J-GLOBAL ID：200903025912231397

2次元アレイ型放射線検出器

発明者： 戸波 寛道
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-053072
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255051
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 X線フラットパネルディテクタに要求される大面積で高密度な検出器を歩留り良く製作できる2次元アレイ型放射線検出器を提供する。【解決手段】 積層電気基板2上にスイッチング素子のFET6と画素電極3とゲートバスライン14とデータバスライン15が行列状に形成され、ゲートバスライン14とデータバスライン15が積層電気基板2の表面から裏面に設けられたコネクタ21に接続され、積層電気基板2の上部にはX線変換層1が形成された検出器モジュール13が、ゲートドライバ部32とデータ収集部33と制御部34を周辺部に搭載し、コネクタ35が設けられた主基板31に、上部から複数の検出器モジュール13をコネクタ21、35を介して接続し、大面積の2次元アレイ型放射線検出器を製作する。

請求項（抜粋）：

放射線に感応し入射線量に対応した電気信号を出力するX線変換層と、その直下に行列状に配置された画素電極と、各画素電極に接続されたスイッチング素子と、信号読出し時にゲートバスラインを介して各スイッチング素子を順次ONするゲートドライバ部と、各画素に蓄積された電荷信号をデータバスラインを介して読出すデータ収集部と、前記ゲートドライバ部及びデータ収集部を制御する制御部とから構成される2次元アレイ型放射線検出器において、前記スイッチング素子と画素電極とゲートバスライン及びデータバスラインが積層電気基板上にパターニングされ、その各ゲートバスライン及び各データバスラインが前記積層電気基板の表面から電気的に裏面に設けられたコネクタに接続され、前記積層電気基板の上部に前記X線変換層を形成した複数の検出器モジュールと、周辺部に前記ゲートドライバ部とデータ収集部と制御部と中央部に複数の前記検出器モジュールを搭載できるコネクタが対応して設けられた一つの主基板とを上下に重ね、前記検出器モジュールを裏面から主基板にコネクタ接続して一検出器を形成したことを特徴とする2次元アレイ型放射線検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/24 ,  G01T 1/20 ,  H01L 31/09

FI (4件)：

G01T 1/24 ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 G ,  H01L 31/00 A

Fターム (18件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  5F088AA01 ,  5F088BA20 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088EA11 ,  5F088EA16 ,  5F088FA09 ,  5F088JA03 ,  5F088JA17 ,  5F088KA03 ,  5F088KA08 ,  5F088LA08