導電性ボールの搭載装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209950
公開番号（公開出願番号）：特開平10-056038
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】吸着ヘッドの上ケースと下ケースを簡単に着脱自在に結合でき、かつ下ケースの下面の水平性を十分に確保して、導電性ボールをワークのパッドに確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置を提供することを目的とする。【解決手段】吸着ヘッド21は上ケース22と下ケース23から成る。上ケース22と下ケース23はつば部24、25を有する。つば部25の上面には下ケース23を包囲する溝30が形成される。またつば部24の下面には溝30に接合する吸引孔31が形成される。吸引孔31を真空吸引手段34で真空吸引することにより、下ケース23は上ケース22に真空吸着される。溝30内の真空吸引圧は場所的なばらつきはないので、下ケース23の全周を均一な真空圧で上ケース22に吸着でき、したがって下ケース23の下面の水平性を十分に確保し、導電性ボールを確実にワーク11のパッド12に着地させて搭載できる。

請求項（抜粋）：

導電性ボールの供給部と、ワークの位置決め部と、吸着ヘッドと、吸着ヘッドの移動テーブルとを備え、供給部に備えられた導電性ボールを吸着ヘッドの下面の吸着孔に真空吸着してピックアップし、位置決め部に位置決めされたワークに移送搭載する導電性ボールの搭載装置であって、前記吸着ヘッドが、上ケースと、その下面に前記吸着孔が開孔された下ケースとから成り、下ケースの上端面に接合する上ケースの下端面にこの上端面を真空吸引する真空吸引手段を設け、かつ上ケースと下ケースを分離自在に結合する結合手段を設けたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 , B23P 21/00 305 , H01L 21/321

FI (4件)：

H01L 21/60 311 Q , B23P 21/00 305 B , H01L 21/92 604 H , H01L 21/92 604 Z

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