インクジェットヘッドの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三井和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-137266
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】インク滴を吐出させて記録を行うためのドロップオンデマンド型インクジェットヘッドの製造方法に関し、インク供給口部を裏面側に配置した高品質のインクジェットヘッドを効率よく生産できることを目的とする。【構成】両面に予めエッチング保護膜2を形成した裏側基板1に対してその表側から、インク供給口部4となる凹み4aを振動板5の厚さ寸法より大きな深さにエッチング加工し、続いて裏側基板1の表側から、インク流路部8と圧力室部9をエッチング加工し、次にノズル孔10が穿設された表側基板11を裏側基板1に接合し、圧力室部9の裏側の壁部を所定厚さの振動板5にするよう研削又は研摩し、それによって凹み4aが裏側基板1の裏面側に開口してインク供給口部4となるように構成する。

請求項（抜粋）：

両面に予めエッチングに対する保護膜(2)を形成した裏側基板(1)に対してその表側から、インク供給口部(4)となる凹み(4a)を、振動板(5)の厚さ寸法より大きな深さにエッチング加工により形成し、続いて、上記裏側基板(1)に対してその表側から、上記凹み(4a)を内側に含むようにインク流路部(8)とそれに連なる圧力室部(9)とをエッチング加工により形成し、次に、ノズル孔(10)が穿設された表側基板(11)を、そのノズル孔(10)が上記圧力室部(9)に向かって開口するように上記裏側基板(1)に接合し、上記圧力室部(9)の裏側の壁部を所定厚さの振動板(5)にするために上記裏側基板(1)の裏面を研削又は研摩し、それによって上記凹み(4a)が上記裏側基板(1)の裏面側に開口してインク供給口部(4)となることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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