特許

J-GLOBAL ID：200903025915594113

圧電部品、圧電センサおよび圧電アクチュエータ、ならびにインクジェットプリンタヘッド

発明者： 小掠 哲義 ,  小松 敦 ,  南波 昭彦 ,  杉本 雅人 ,  岡野 祐幸 ,  冨田 佳宏 ,  川▲崎▼ 修
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058573
公開番号（公開出願番号）：特開平11-261127
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 結晶構造による圧電特性の異方性を利用して単結晶材料からの基板の切り出し角度を規定することにより、小型、高感度の圧電部品を提供する。【解決手段】 結晶構造3m型の単結晶である少なくとも1枚の圧電板と、前記圧電板を挟み込むように前記圧電板の主面に形成された少なくとも1対の電極とを有し、前記圧電板の主面が前記単結晶のX軸を回転軸として前記単結晶のY軸を+5°〜+45°回転させた軸に垂直な面である圧電部品とする。この圧電部品の性能に影響する歪み量ξ21およびξ23は上記角度で共に大きな絶対値を示す。

請求項（抜粋）：

結晶構造3m型の単結晶である少なくとも1枚の圧電板と、前記圧電板を挟み込むように前記圧電板の主面に形成された少なくとも1対の電極とを有し、前記圧電板の主面が前記単結晶のX軸を回転軸として前記単結晶のY軸を+5°〜+45°回転させた軸に垂直であることを特徴とする圧電部品。

IPC (4件)：

H01L 41/18 ,  B41J 2/01 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (4件)：

H01L 41/18 101 A ,  H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 101 Y ,  H01L 41/08 M