特許
J-GLOBAL ID：200903025925034230
イオン源電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326765
公開番号（公開出願番号）：特開平6-176890
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 イオンビーム出力を強くしても電極が熱変形で歪まないイオン源電極を提供する。【構成】 プラズマ室1の内壁4にその中心部まで延出された支持柱5を設け、この支持柱5にプラズマ室1からイオンを引き出すための電極8を電極8の中央で支持させて取り付けた。
請求項（抜粋）：
プラズマ室の内壁にその中心部まで延出された支持柱を設け、この支持柱にプラズマ室からイオンを引き出すための電極を電極の中央で支持させて取り付けたことを特徴とするイオン源電極。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭62-093835
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特開昭64-030142
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