特許
J-GLOBAL ID：200903025928634033
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249027
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160174
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 感温部を載置した架橋部の形状を最適化し、これにより感温部の温度上昇を増大させ、高感度な測定を可能とする。【構成】 シリコン基板11の表面には、架橋部13が設けられている。この架橋部13は、平面形状が円形の赤外線受光部14と、この赤外線受光部14を支持する4本の支持部15により構成されている。赤外線受光部14および支持部15はともに厚さ3μmのシリコンオキシナイトライド膜により一体的に形成されている。赤外線受光部14の中央部には感温部16が形成されている。赤外線受光部14は支持部15よりも幅広で受光面積が広くなっているため、より多くの赤外線を受光することができる。したがって、感温部16の温度が効率的に高められ、センサ感度が向上する。
請求項（抜粋）：
センサ基板上に全長L、幅W(W<L)の架橋部が設けられるとともに、この架橋部に感温部が形成された赤外線センサにおいて、前記架橋部の長さa(0<a<L)にわたる部分で、任意の幅(>W)を持つ赤外線受光部を有することを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 31/08
