単結晶シリコンウェーハを利用した一体型流体ノズルアセンブリ及びその製作方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-049245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-287369
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】【課題】単結晶シリコンウェーハを利用した一体型流体ノズルアセンブリ及びその製作方法を提供する。【解決手段】 (100)面単結晶シリコンウェーハを利用した一体型マイクロ流体ノズルアセンブリは、既存の多数枚のウェーハ及び板を使用して積層していた複雑な構造を単純化して1枚の(100)面シリコン単結晶ウェーハを利用してずれることなく一体型に具現することにより、大量生産を可能にし、さらにウェーハの結晶面を利用した異方性エッチング工程及びLOCOS工程を利用した適宜なマスクの形成工程などを利用する一括自動整列工程で製作することによりウェーハの数を低減できる。すなわち、一般的なシリコンフォトリソグラフィ工程を活用してこれらの整列誤差を数ミクロン以下に減らし得るだけでなく、複雑ではなく、経済性に優れているほか、歩留まり率も良い。

請求項（抜粋）：

引き入れられる流体を一時的に貯蔵するダンパーと、前記ダンパーに貯蔵された流体を吐き出す排出口と前記ダンパーに貯蔵された流体が前記ダンパー内の圧力よりも高圧で前記排出口に引き入れられるように誘導する円錐部とよりなるノズルとを備えた流体ノズルアセンブリにおいて、前記ダンパー及び前記ノズルの円錐部と排出口が順次連続的に配置されて一枚の単結晶シリコン基板により一体型に構成されたことを特徴とする一体型流体ノズルアセンブリ。

IPC (3件)：

B41J 2/135 , B81B 1/00 , B81C 1/00

FI (3件)：

B81B 1/00 , B81C 1/00 , B41J 3/04 103 N

前のページに戻る